（主讲教师：章海军教授、张冬仙教授）
面向专业：光学工程、测试计量技术及仪器、光通信，以及物理学、材料学等；
面向学生：博士生、硕士生；
课程特色：兼具前沿性、科学性、知识性、开拓性和趣味性；
授课方式：课堂讲授，课堂讨论与互动，实践环节（如兼具科学性和趣味性的设计制作、高新技术仪器设备的操作演示等）；
考试形式：开卷考试或课程论文；
主要内容：纳米技术是二十一世纪最重要的前沿学科之一，世界上各主要国家均将纳米技术列为科技发展战略中的优先发展领域。本课程主要讲授纳米技术的新原理、新方法、新技术、新系统和新前沿。
第1章 绪论——走进奇妙的纳米世界
第2章 纳米技术前沿及其分支学科
第3章 扫描电子显微镜（SEM）与透射电子显微镜（TEM）
第4章 隧道效应理论与扫描隧道显微镜（STM）原理
第5章 STM仪器及其在微纳测试中的应用
第6章 单原子操纵与纳米加工技术
第7章 原子力显微镜（AFM）技术与系统
第8章 新型AFM仪器及其广泛应用
第9章 基于STM和AFM的纳米计量技术
第10章扫描探针显微镜（SPM）技术及应用
第11章微/纳米测试技术与系统的新发展
第12章微/纳米加工制造技术与系统
第13章微/纳米驱动技术及系统
第14章纳米材料制备技术
第15章纳米技术的广泛应用和巨大潜力：纳米技术在中国、在世界
第16章纳米技术大事记
