序号 | 仪器名称 | 型号 |
1 | 超高精度矿物材料磨抛加工机床 | 350FG |
2 | 聚焦离子束纳米制备和加工系统 | Auriga |
3 | 飞秒激光器 | Mira HP |
4 | 场发射电子扫描电子显微镜 | Utral 55 |
5 | 皮秒脉冲激光器 | Amberpico-Q-10 |
6 | 原子层沉积系统 | TFS 200 |
7 | 钛宝石激光器 | X3S8 |
8 | 压电陶瓷微动器件 | P-622.2CD |
9 | 表面轮廓仪 | DEKTAK3 |
10 | 光刻机 | BG-401 |
序号 | 仪器名称 | 型号 |
11 | 光学传递函数分析仪 | 套AB |
12 | 分子束外延设备 | JZMBE-450C |
13 | 红外摄像组件 | DL720A |
14 | PECVD镀膜机 | MESC MULTIPLEN CND |
15 | 单靶磁控溅射设备 | * |
16 | 感应耦合等离子刻蚀机 | Plaswalab 100 |
17 | 荧光分光光度计 | F-2500 |
18 | 双荧光通道激光共焦扫描显微镜 | * |
19 | 准分子激光微加工系统 | promaster |
20 | 700箱式真空镀膜机 | ZZS700-8/G |