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  • 聚焦离子束纳米制备和加工系统

    科技服务  日期:2019-12-24 01:41:31

    型号: Auriga 规格: Quanta 3D FEG 收费标准: 功能与用途: 可用于电子束高分辨成像(0.8nm@15kv)、离子束高分辨成像(2.5nm@30kv)观察纳米材料的表面形貌,可进行纳米级别复杂图案加工,包括离子束切割、电子束与离子束沉积等,可制备特殊的纳米结构。


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