| 型号： | Plaswalab 100 |
| 规格： | >0.3um/min速率 >15:1选择比 |
| 收费标准： | 校内：1. InP: ≤1um 300元, 每增加1um加100元； 2. GaAs: ≤1um 400元, 每增加1um加100元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁100元。其他成分样品价格按情况协商 校外：1. InP: ≤1um 400元, 每增加1um加150元； 2. GaAs:≤1um 500元, 每增加1um加150元以上为每单次刻蚀收费标准，多片按次数收费，多次刻蚀时样品成分不同需收取腔体清洁费用，每次清洁150元其他成分样品价格按情况协商 【收费管理小组第七十八次】 |
| 功能与用途： | |
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