浙江大学光电科学与工程学院（含1989年经国家计委和国家教委批准成立的浙江大学现代光学仪器国重点实验室和1994年由国家科技部批准成立的浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心），为社会各界提供以下服务：

站内搜索

管理员入口

当前位置：首页仪器共享

光刻机

科技服务日期：2019-12-24 01:41:27

型号： BG-401 规格： 125*125MM 100MM 收费标准：校内：非硅片200元/小时；校外：非硅片300元/小时【收费管理小组第七十八次】功能与用途：微细加工中光刻工艺，分辨率3μm

访问次数：{动态访问次数}