准分子激光微加工系统

型号： promaster 规格： 波长248nm准分子脉冲激光系统，激光重复频率0-300Hz可调，能量密度0.5-5l/cm2可调，最小加工孔1.5μm 收费标准： 校内：100元/小时 校外：200元/小时【收费管理小组第七十八次】 功能与用途： 用于微孔、微槽加工，MEMSMOEMS器件研发，医学微流量缓释，萎靡、纳米科学研究，陶瓷、聚酯物、金属膜等材料微加工。