| 序号 | 仪器名称 | 型号 |
| 61 | 薄膜厚度测量仪 | Modei 2010 |
| 62 | 溅射镀膜机[溅射设备] | SP-3 |
| 63 | 精密微调器 | ANC003/MD |
| 64 | 光纤调节系统 | 561D |
| 65 | 傅里叶变外光谱仪 | FT/IR-460 |
| 66 | AWG模块 | A0808GPMFS A0808FHBFS |
| 67 | 智能阻尼精密隔振系统 | Smart Table |
| 68 | 三维脉冲固体激光加工 | 3D-LASER |
| 69 | 固体调Q激光电源 | TSL-210 |
| 70 | 拉曼光纤激光器 | PRL-DC-1365-2000 |
| 序号 | 仪器名称 | 型号 |
| 71 | 光学延迟线系统 | PM500-C |
| 72 | 机械手臂探测针 | EASY4 |
| 73 | 台阶/轮廓仪 | Dektak 150 |
| 74 | NIKON显微镜 | ME 600L |
| 75 | 模拟信号源 | e8257d |
| 76 | PIAS数据分析仪 | C1817 |
| 77 | 高速扫描装置 | M1952 |
| 78 | 存储示波器 | SCD1000 |
| 79 | 扫描干涉仪 | RC-44 |
| 80 | 数字功率计 | 2531 |