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仪器简介：
大尺寸大样品大范围高分辨原子力显微镜（AFM），属AFM的特种类型和高端技术设备，在诸多重要领域具有广阔应用前景。本单位自主研发的大尺寸大样品大范围高分辨AFM技术及仪器，适用于大型超精密工件样品及任意形状的表面的微纳米扫描检测，克服了常规AFM仅适用于小尺寸、小样品、小范围检测的局限性，并且在实现大范围扫描检测的同时，保持AFM的纳米级高分辨率。
主要技术指标：
最高分辨率：横向1 nm，纵向0.1 nm；
最大扫描范围：20mm×20mm；100mm×100mm（选项）；以此为基础，可实现十微米量级
最高分辨率：横向1 nm，纵向0.1 nm；
最大扫描范围：20mm×20mm；100mm×100mm（选项）；以此为基础，可实现十微米量级
的多点扫描和毫米量级大范围拼接；
图像采样像素点：256×256点/幅，512×512点/幅；
最大样品尺寸：1000mm(L)×800mm(W)×300mm(H)；
最大样品重量：100 kg。
图像采样像素点：256×256点/幅，512×512点/幅；
最大样品尺寸：1000mm(L)×800mm(W)×300mm(H)；
最大样品重量：100 kg。
大尺寸大样品大范围高分辨AFM
大尺寸大样品大范围高分辨AFM扫描获得的样品的微纳米图像
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