浙江大学光电科学与工程学院（含1989年经国家计委和国家教委批准成立的浙江大学现代光学仪器国重点实验室和1994年由国家科技部批准成立的浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心），为社会各界提供以下服务：

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反应离子蚀刻机

科技服务日期：2019-12-24 01:41:17

型号： FLSKJ-208A 规格： Φ150 收费标准： (参考)校内：开机费500元，10元/分钟；　　　　校外：开机费600元，15元/分钟；功能与用途：微细加工、应用光学材料、半导体材料及金属的物理刻蚀和反应刻蚀

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